解決方案
附著是指薄膜和基體表面相互作用將薄膜粘附在基體上的一種現象,是與薄膜在基體上存在的耐久性及耐磨性直接相關的重要概念。附著力的產生來源于膜與基片之間的相互作用,它的作用機理就是吸附,吸附可分為物理吸附和化學吸附兩種。
膜層與基片之間的附著力,總體上受以下因素影響。基片的表面粗糙度和結構是否存在缺陷;基片表面是否清潔;基片表面的狀態能問題等。
如果基片不經過清潔處理,將在其表面上留有一個污染層,使基片表面的化學鍵達到飽和,故淀積上薄膜以后,膜的附著力很差。因此,在制造薄膜時,為了提高其附著性能,必須先對基片進行清潔和活化處理。
一方面等離子清洗,可去除鍍膜基片表面殘留的一些細微污染物以及分子原子基團等,并使得鍍膜基材表面引入親水極性基團,從而使固體表面具有良好的液體流動性,增大膜層與基片的附著力。
另一方面在鍍膜前通過等離子轟擊工件,其轟擊能量可傳遞給基底的晶格原子,使晶格結構遭到破壞,增加工件表面的微觀粗糙度,使基底的表面原子徹底裸露,提高原子的極化率,縮小了薄膜原子與基底表面原子的間距,同時增加薄膜與表面的接觸面積,有利于提高機械鎖緊力,從而極大地改善薄膜與基底間的附著力。
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